半导体产业的快速发展,对各类核心精密零部件的加工精度提出了极高要求。电铸掩膜板作为半导体光刻、镀膜、元器件封装环节不可或缺的关键精密构件,其孔径均匀度、轮廓精度、表面平整度直接影响芯片及电子元器件的生产良率。长期以来,高端微米级电铸掩膜板制造工艺门槛高,对生产设备、电铸配方、过程管控能力有着严苛标准。作为深耕精密电铸领域的源头制造企业,南通卓力达持续加大技术研发投入,近期成功攻克微米级电铸掩膜板核心工艺难点,实现高性能电铸掩膜板稳定试制与小批量交付,为国内半导体精密制造产业链提供可靠的国产电铸解决方案。
电铸是一种基于金属离子电沉积原理的精密增材制造工艺,区别于传统机械蚀刻、激光切割加工方式。电铸成型的掩膜板具备侧壁垂直度高、无应力变形、开孔边缘光滑等优势,非常适合微米级微小图形结构成型。但微米级掩膜板生产,面临图形复制失真、厚度不均、针孔缺陷、脱模困难等多重技术难题。在半导体应用场景下,掩膜板微孔尺寸往往达到数微米级别,微小的工艺波动就会造成批量产品报废,这也是制约国内精密电铸掩膜板产业化的主要痛点。
为突破工艺瓶颈,南通卓力达组建专项研发团队,围绕电铸液配方优化、脉冲电铸参数调试、母版制备、光刻图形转移、后处理表面处理等全流程开展大量试验。研发人员针对微米结构成型过程中的金属沉积速率不一致问题,优化脉冲电铸控制程序,精准调控电流密度、温度、PH 值等核心参数,改善金属晶粒生长状态,有效提升掩膜板图形复刻精度。同时,团队改良母版制作与脱模工艺,减少微结构脱模过程产生的形变与破损,大幅降低产品缺陷率。经过多轮样品验证、性能测试与可靠性试验,南通卓力达完成微米级电铸掩膜板工艺定型,产品微孔轮廓精度、板厚均匀性、表面光洁度均达到半导体行业应用标准。

依托本次工艺突破,南通卓力达可定制不同材质、不同图形方案的电铸掩膜板产品。产品可广泛应用于半导体晶圆镀膜、芯片封装、Mini/Micro LED、传感器元器件等领域。相较于传统加工方案,卓力达微米电铸掩膜板图形保真度高,微孔边缘毛刺少,可有效提升镀膜、蒸镀工序的成型效果,帮助下游半导体客户提升产品良率,降低精密零部件采购成本。同时作为本土电铸厂家,南通卓力达可提供快速打样、小批量试产到大批量生产的一站式服务,缩短客户样品开发周期,快速响应客户定制化图形需求。
成立以来,南通卓力达专注精密电铸技术研发与生产,产品矩阵覆盖电铸掩膜板、电铸网版、微孔电铸零件、非标精密电铸件等,服务半导体、光伏、医疗、电子、精密仪器等多个高端制造行业。公司建有标准化电铸生产车间与精密检测实验室,配备高精度光学检测仪、金相显微镜、轮廓仪等全套检测设备,建立从原材料入厂、生产过程巡检到成品全检的完整质量管控体系。每一批次电铸掩膜板都经过尺寸、外观、可靠性检测,确保交付产品稳定可靠。
在高端制造国产化加速的大背景下,精密电铸零部件国产化替代需求持续增长。南通卓力达始终坚持技术自主创新,持续打磨电铸核心工艺,不断拓宽精密电铸产品的应用边界。本次微米级电铸掩膜板工艺攻关成功,是公司在半导体精密构件领域重要的技术成果。后续南通卓力达将持续迭代优化电铸生产工艺,扩大产能规模,持续深耕半导体、光电等高端赛道,研发更多高性能精密电铸产品。
未来,南通卓力达将继续立足精密电铸制造主业,加强产学研交流,持续提升自主研发与制造实力,以稳定可靠的国产电铸产品,助力国内半导体及高端精密制造产业链高质量发展,为更多行业客户提供高品质、可定制的精密电铸一站式解决方案。